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定向凝固提純技(jì)術在(zài)去除金屬(shǔ)雜質(zhì)的應用

[2014/7/16]

    冶金法(fǎ)制備(bèi)多晶(jīng)矽就(jiù)是定向凝固提(tí)純技術(shù)在去(qù)除金屬(shǔ)雜(zá)質方面(miàn)的典型(xíng)應用,而定向凝固提純(chún) 技術也是冶金法提純(chún)矽材料(liào)的關鍵工(gōng)藝。關(guān)于定向(xiàng)凝固技(jì)術制備(bèi)多晶矽技術(shù),專家(jiā)學者(zhě)做了大(dà)量(liàng)研(yán)究(jiū)工作(zuò),尤其(qí),近幾(jǐ)年國内高(gāo)校昆明理(lǐ)工(gōng)大學、大(dà)連理工(gōng)大學、太原理工大學(xué)等(děng)在定向凝(níng)固技(jì)術制備(bèi)多(duō)晶矽(xī)方面做了大量(liàng)實驗(yàn),得出(chū)很多(duō)有用結論。

    morita等(děng)人提出,冶(yě)金級矽(xī)中金(jīn)屬(shǔ)雜質經過2次(cì)定向凝固提純, 完全(quán)可以達到太陽能(néng)級(jí)多晶矽要(yào)求[30]。rannveig kvande 等通過(guò)慢(màn)冷和快(kuài)冷快速定(dìng)向凝固對比實(shí)驗, 測(cè)量出碳的含量在2個(gè)試塊中的(de)含量(liàng)分(fèn)布基本(běn)一樣(yàng),慢冷的氧(yǎng)含量(liàng)比快冷高(gāo)。pires等利用電子束(shù)熔煉法, 獲得了(le)5n的太(tài)陽能級多(duō)晶矽,得出(chū)了矽(xī)錠下部和(hé)邊緣(yuán)雜質的(de)含(hán)量較低,上部和中間雜質含量較高的結論。chandra p khattak 等利用(yòng)真空(kōng)氧化和定(dìng)向凝固2步工藝提純工業矽,結果表(biǎo)明(míng),大部分(fèn)的金(jīn)屬雜(zá)質含量還是很高,雖(suī)然部分金(jīn)屬雜質去除效果理(lǐ)想,但(dàn)還(hái)是(shì)達不到太(tài)陽能級多(duō)晶矽的要求。

    昆明理(lǐ)工大學的(de)戴永年教(jiāo)授等(děng)人利用定(dìng)向凝(níng)固技術去除工(gōng)業矽中的雜質(zhì)鋁,結(jié)果(guǒ)表明,定向凝(níng)固提純法(fǎ)除鋁的去(qù)除率(lǜ)可達98.6%,這(zhè)說明定(dìng)向(xiàng)凝固提(tí)純法去除鋁是可行(háng)的,但(dàn)不能(néng)去除晶界(jiè)處(chù)富集的(de)鋁雜質(zhì)。吳(wú)亞萍(píng)等對(duì)真空(kōng)感應(yīng)熔煉和定向凝(níng)固研究(jiū), 結果表明定向(xiàng)凝固提(tí)純 技(jì)術(shù)可以去(qù)除(chú)工業矽中平衡系數(shù)小于1 的金屬雜質(zhì),但對(duì)不同(tóng)雜(zá)質去除(chú)的程度不同。liu等(děng)通過研究鐵随(suí)時間和溫度變化的分布情況(kuàng), 得出多(duō)晶矽鑄(zhù)錠中的(de)碳(tàn)濃度(dù)以及碳(tàn)化矽沉(chén)澱相的分(fèn)布(bù)。 

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