現(xiàn)有加熱電源存在的(de)問題：

    盡管(guǎn)我國(guó)晶體生長(zhǎng)設備(bèi)的自(zì)動化(huà)程度有了很大(dà)提高，但是(shì)在常(cháng)規的直拉法溫(wēn)度控制(zhì)環節的(de)設計上還(hái)存在(zài)以下(xià)問題：

    (1)加熱電源的智(zhì)能化(huà)程度(dù)不高。純模(mó)拟電(diàn)路構成，單(dān)閉環控制，自動(dòng)化程度(dù)偏低，功率的調節(jiē)常滞(zhì)後于系統對溫(wēn)度的實際(jì)要求(qiú)。

    (2)溫度需(xū)要(yào)手動(dòng)調節(jiē)。該設備在(zài)運行過程(chéng)當中(zhōng)不能(néng)完全做到(dào)無人(rén)值守，對于引徑(jìng)、放肩及熔(róng)料過程的溫度控制(zhì)還(hái)需(xū)要工(gōng)作人員通過電(diàn)源櫃的旋鈕手(shǒu)動調節輸出值(zhí)，等徑生長過程的實際(jì)控(kòng)溫精(jīng)度與理論值也有差距，參數的(de)設(shè)置(zhì)、調節和記(jì)錄均需要值(zhí)守人員參與完成。

    單晶爐(lú)改(gǎi)進方(fāng)案：

    裝(zhuāng)置采用模塊(kuài)化設計，微機控制，内(nèi)置(zhì)自适(shì)應能力較(jiào)強的(de)模糊(hú)pid控(kòng)制(zhì)算法(fǎ)，具有控制(zhì)參數自(zì)動調節、顯示(shì)，可通過按(àn)鍵(jiàn)設(shè)定初值，系(xì)統異(yì)常可自動聲光告警(jǐng)等新功能(néng)，即從整體(tǐ)上提(tí)高溫控系(xì)統的(de)智能化程(chéng)度和控制精度(dù)，加快參數調節的響(xiǎng)應速(sù)度，使整個(gè)生産過程(chéng)中(zhōng)爐(lú)溫的變(biàn)化能快(kuài)速平滑地(dì)跟随(suí)工藝(yì)曲線變化(huà)，裝(zhuāng)置通用(yòng)性強(qiáng)，操作上更(gèng)加簡(jiǎn)單、可靠。

    單(dān)晶爐(lú) 主要(yào)技(jì)術(shù)指标(biāo)：

    單晶爐加(jiā)熱電源是一種大功(gōng)率直流電(diàn)源，要求輸出(chū)功率lookw，輸(shū)出電(diàn)壓爲0-5v可調(diào)，輸出(chū)電流爲0-3000a；其(qí)輸出的能量可(kě)直接爲單晶爐内的石墨(mò)加熱(rè)器供熱，加熱溫(wēn)度範圍(wéi)爲(wèi)o～2000℃，控溫精(jīng)度要求達到(dào)±5℃；各種信号可自動檢測、顯示，參(cān)數的修(xiū)改和設(shè)定可通(tōng)過按鍵進行，以此(cǐ)來滿(mǎn)足單晶矽在生(shēng)長階段對(duì)溫度(dù)的嚴格(gé)要求。