單晶爐在運作過(guò)程中(zhōng)因爲一直(zhí)都會處于(yú)高溫的狀态下，對其(qí)他的零部件要求高且嚴格，因(yīn)爲需要維(wéi)持長時間的(de)工作，所(suǒ)以(yǐ)需要特(tè)别注(zhù)意定期進行必(bì)要的維護(hù)保養(yǎng)。

1、坩埚驅動(dòng)裝置要求的運動精(jīng)度比(bǐ)較高，是設(shè)備的核心(xīn)運(yùn)動(dòng)部件(jiàn)，應重點維(wéi)護。坩埚軸是石(shí)墨坩(gān)埚的支撐(chēng)軸，應随時(shí)檢查(chá)其冷卻水的情況，以免(miǎn)燒(shāo)損。

坩(gān)埚驅動(dòng)采用滾(gǔn)珠絲杠(gàng)和直線導軌結構，是坩(gān)埚驅(qū)動(dòng)的(de)關(guān)鍵(jiàn)部件，需保持清潔，嚴禁(jìn)灰(huī)塵、雜(zá)物附(fù)着(zhe)，并定期(qī)塗抹潤滑脂。

2、籽晶旋轉及提升(shēng)機構的維(wéi)修

籽晶旋轉及提升(shēng)機構(gòu)也是(shì)單晶(jīng)爐(lú)的(de)關鍵部件(jiàn)，該部件運行的好壞直接影響(xiǎng)單晶的(de)生長。因(yīn)此，也須重點維(wéi)護。

卷輪箱是籽(zǐ)晶提升(shēng)的核心(xīn)，卷輪箱内(nèi)的零(líng)件一般(bān)情況下(xià)不得随(suí)意拆除(chú)，必須拆除時，重(zhòng)新安裝時(shí)必(bì)須保證軟軸對中(zhōng)。軟軸鋼(gāng)絲繩在(zài)使用中不準有死彎現象(xiàng)，并在每次開爐時檢(jiǎn)查鋼絲(sī)繩(shéng)是否(fǒu)燒損(sǔn)，如有燒損(sǔn)應及(jí)時修整或(huò)更換(huàn)新(xīn)的(de)鋼絲(sī)繩。

除了上(shàng)面的(de)兩點之外，在每(měi)次開爐前(qián)應檢(jiǎn)查水(shuǐ)路(lù)系統是(shì)否暢通，水溫檢(jiǎn)測傳感(gǎn)器安(ān)裝(zhuāng)是否正常。發現(xiàn)有結垢時應及(jí)時清(qīng)理。在拉晶過程中，若發現(xiàn)水壓報警或漏水時要(yào)及時采(cǎi)取措(cuò)施(shī)。真(zhēn)空管(guǎn)道的(de)過濾網每(měi)爐要清理一次(cì)，抽氣管道每20～30爐(lú)清理一次。

編輯(jí)gyn