單(dān)晶爐(lú)爐室内的工作(zuò)溫度(dù)高(gāo)達1400℃甚至更高，故其殼體(tǐ)需爲夾(jiá)層(céng)結構以便通水冷卻(què)，主輔爐(lú)室(shì)之間(jiān)，觀察口、抽氣口(kǒu)等處(chù)要施以靜(jìng)密封，籽晶坩埚等運(yùn)動部(bù)件處要施以(yǐ)動密封，這些都對提高單晶爐整體密(mì)閉性增加(jiā)了難(nán)度。同時也對真(zhēn)空密(mì)閉(bì)性能的檢驗(yàn)提出了更(gèng)高的要求(qiú)。

    鑒于奧氏體不鏽鋼(gāng)防鏽、強度(dù)高、塑(sù)性及(jí)韌性好、焊(hàn)接性能優良、順磁性、導熱導電(diàn)性低等特點，幾(jǐ)乎所有的(de)單晶爐爐室(shì)都采用(yòng)00crl8ni9ti(sus304l)不鏽(xiù)鋼材料，采(cǎi)用鎢(wū)極氩弧焊(hàn)(rng)或熔(róng)化極(jí)氩(yà)弧(hú)焊(mig)。

    制造過(guò)程中(zhōng)對單個(gè)零件的檢驗(yàn)，主要(yào)是對采用(yòng)焊接(jiē)工藝(yì)零件焊(hàn)縫(féng)的檢(jiǎn)驗，防止(zhǐ)焊(hàn)接過(guò)程中的虛焊漏(lòu)焊，杜絕(jué)裂紋氣(qì)孔，及時發現問(wèn)題采取(qǔ)補救措施。

    外(wài)觀(guān)檢驗法(fǎ)

    對焊(hàn)接焊(hàn)縫最簡單的檢驗方法是(shì)外(wài)觀檢驗(yàn)，用肉眼或低倍(bèi)(小于20倍)放(fàng)大鏡對焊縫(féng)表面缺陷進(jìn)行檢查。外(wài)觀(guān)檢驗之前，焊縫的(de)表面污(wū)物(wù)應清除幹淨。外(wài)觀檢(jiǎn)驗的主要(yào)内容(róng)是檢(jiǎn)查焊(hàn)縫的尺寸(cùn)是否(fǒu)符合要求(qiú)，是否有咬口、焊瘤、表(biǎo)面氣孔、表面裂縫等缺陷。對檢(jiǎn)查(chá)出的焊接缺(quē)陷，須及時(shí)修補(bǔ)後，再(zài)次進(jìn)行檢(jiǎn)驗。外觀(guān)檢驗隻(zhī)能發現表(biǎo)面宏觀的缺陷。

    着色(sè)檢驗法(fǎ)

    着色檢(jiǎn)驗法的原理是用着(zhe)色劑(jì)來顯(xiǎn)示缺(quē)陷。着色檢(jiǎn)驗(yàn)不需專門裝(zhuāng)置，隻要配置适(shì)宜的着色(sè)劑、顯現粉(fěn)，即可獲得檢驗(yàn)結果。其工(gōng)作原理是基于(yú)毛細管作用來實現(xiàn)的。先(xiān)用合适的溶(róng)劑(jì)将焊(hàn)縫清洗幹淨，并(bìng)讓(ràng)其幹(gàn)燥，接着(zhe)噴上着(zhe)色劑，等(děng)待一段時(shí)間，流動性和滲透性(xìng)良好(hǎo)的(de)着色劑(jì)便滲(shèn)入到(dào)焊件(jiàn)表面的縫(féng)隙中(zhōng)，然後(hòu)将焊件表(biǎo)面再次擦拭幹(gàn)淨并噴上顯現(xiàn)粉，侵人(rén)焊件縫(féng)隙中的(de)着(zhe)色劑(jì)，則由(yóu)于毛細管(guǎn)現象(xiàng)上滲到顯(xiǎn)現粉(fěn)中(zhōng)來，呈現(xiàn)出缺(quē)陷(xiàn)的形象(xiàng)。雖然(rán)着(zhe)色檢驗(yàn)也隻能(néng)發現表(biǎo)面的缺(quē)陷，但根(gēn)據着色顯現出來的(de)大(dà)小(xiǎo)可以(yǐ)幫助(zhù)判定缺陷(xiàn)的大小，比(bǐ)其外(wài)觀檢(jiǎn)驗(yàn)效果更(gèng)好。

    x射(shè)線(xiàn)檢驗法

    要對焊縫的内(nèi)部缺陷進(jìn)行檢驗，既(jì)準(zhǔn)确又可(kě)靠的方(fāng)法是x射線檢驗(yàn)。利用x射(shè)線來檢(jiǎn)驗焊縫(féng)的方法目前應(yīng)用最廣(guǎng)泛的是(shì)照相法(fǎ)。這種方(fāng)法就是(shì)在(zài)被檢驗焊(hàn)縫的(de)後面(miàn)放置一張(zhāng)膠片(piàn)，x射線(xiàn)從前面透(tòu)人。當x射(shè)線經過被檢(jiǎn)驗的(de)焊縫(féng)後，由于焊(hàn)縫金(jīn)屬和焊縫缺陷(xiàn)的密(mì)度不同，對(duì)x射線(xiàn)的能量衰(shuāi)減和吸收不同(tóng)，而(ér)到達(dá)膠片上(shàng)的x射線強度也(yě)不同，膠(jiāo)片(piàn)的感(gǎn)光程度(dù)不(bú)一樣(yàng)，經過(guò)顯(xiǎn)影後得(dé)到的底片(piàn)黑化(huà)度也就不同，有(yǒu)缺陷處x射線吸收少，透(tòu)過的x射(shè)線強度較(jiào)大，底片(piàn)感光(guāng)較強，顯(xiǎn)影比較黑(hēi)；無(wú)缺陷處底片感光(guāng)則較弱，顯(xiǎn)影後呈淡白色。這樣(yàng)，觀察底片上的(de)影像就能發現(xiàn)焊縫有無(wú)缺陷(xiàn)及缺陷(xiàn)的種類(lèi)、大小(xiǎo)和位置。

    水壓檢驗(yàn)

    對單晶(jīng)爐中殼體爲(wèi)夾(jiá)層結構的零件(jiàn)，除采(cǎi)用上述方(fāng)法外(wài)，還可以采(cǎi)用水壓(yā)法檢驗(yàn)夾層(céng)是否有缺(quē)陷。水壓(yā)法(fǎ)檢驗(yàn)是在單晶爐殼(ké)體上留一個入口(kǒu)用水将夾層(céng)灌滿(mǎn)，并堵(dǔ)好其餘的出口，用水(shuǐ)泵把夾層(céng)内的(de)水壓(yā)提(tí)高到3．2kg／cm2左(zuǒ)右，進行(háng)強壓試(shì)驗，并(bìng)維持15min以(yǐ)上(shàng)，壓力不能(néng)有下(xià)降，同時檢(jiǎn)查焊(hàn)縫上是否有水(shuǐ)滴(dī)或(huò)水(shuǐ)迹出現(xiàn)，如果(guǒ)出現(xiàn)則表明該處(chù)有(yǒu)滲漏(lòu)缺陷，應做出标(biāo)記，以便修補。水壓法檢(jiǎn)驗(yàn)方法簡單，容易找(zhǎo)出缺陷(xiàn)的具體位(wèi)置，不過(guò)其最小(xiǎo)可檢漏率隻能(néng)達(dá)到10“pa·l／s，對極其微(wēi)小的缺(quē)陷(xiàn)就無(wú)能爲力(lì)了。

    氦質譜檢驗(yàn)法

    用于(yú) 單晶爐 的真空(kōng)殘餘(yú)氣體分析(xī)的質(zhì)譜計都可(kě)以用來檢(jiǎn)漏，特别是用(yòng)氦做示(shì)漏氣(qì)體的質譜(pǔ)檢漏儀，是真空(kōng)檢漏中(zhōng)靈敏度(dù)最高、用得最普(pǔ)遍的一(yī)種檢漏(lòu)儀器，其最(zuì)小可(kě)檢漏率能(néng)達到(dào)10。11pa·l／s。目前(qián)的氦質譜檢漏儀基(jī)本上都是(shì)磁(cí)偏轉型的，其實質(zhì)是一(yī)種對氦分壓變(biàn)化有(yǒu)反應(yīng)的(de)儀(yí)器。單晶爐(lú)殼體(tǐ)夾層用(yòng)氦質譜檢漏儀進行檢驗，首先要留～個入口(kǒu)接上真空(kōng)管路，堵好(hǎo)殼體(tǐ)上其他(tā)的出口(kǒu)，再用輔(fǔ)助真空(kōng)泵抽真空，真空(kōng)度達(dá)到10pa以(yǐ)下後(hòu)，才能打開與之(zhī)相連的氦(hài)質譜檢漏(lòu)儀，然後用氦氣在疑(yí)有漏(lòu)孔處進(jìn)行噴吹(chuī)，檢查(chá)檢漏(lòu)儀指示是(shì)否有變化(huà)，如發(fā)現有(yǒu)變化(huà)時(shí)，應再做幾次(cì)複檢，确定漏(lòu)孔(kǒng)的具(jù)體(tǐ)位置。氦(hài)質譜檢漏的設(shè)備都較昂貴，因(yīn)此應盡可(kě)能采用其(qí)他較(jiào)爲(wèi)經(jīng)濟的檢漏(lòu)方法(fǎ)。