首(shǒu)先在(zài)單(dān)晶爐(lú)作業前(qián)，要做好準備工(gōng)作，然後(hòu)開始進(jìn)行熱态(tài)檢(jiǎn)漏，檢(jiǎn)漏的要求在3分(fèn)鍾以(yǐ)上，同(tóng)時要(yào)做好記錄(lù)。接下(xià)來将單晶和籽(zǐ)晶取(qǔ)出(chū)，冷卻後(hòu)要對(duì)單(dān)晶(jīng)進行(háng)參數檢測，同樣(yàng)需要做好(hǎo)記錄(lù)。接着(zhe)将石墨件(jiàn)取出做好(hǎo)冷卻工作，之後要對進行重量檢測(cè)并做(zuò)記錄。然後(hòu)在通過真(zhēn)空過(guò)濾器(qì)來進行清(qīng)洗，真(zhēn)空泵油的(de)檢(jiǎn)查更換。完成(chéng)以上步驟，就要開始對石墨，單(dān)晶爐的(de)室内進(jìn)行清(qīng)洗了(le)，知道(dào)确認(rèn)沒有(yǒu)污物(wù)爲止(zhǐ)。接下來就是對石墨(mò)的，石(shí)英坩埚，籽晶進(jìn)行安裝，然(rán)後進(jìn)行抽空繼續檢(jiǎn)漏。最後引(yǐn)晶，縮(suō)頸，放(fàng)肩，轉肩，然(rán)後等徑(jìng)生長。最後單晶爐 就進入收尾(wěi)工作了。