感(gǎn)應熔(róng)煉 的步驟有用(yòng)前檢(jiǎn)查單晶爐、試用單晶爐、單(dān)晶爐正式工(gōng)作、熔煉産品抽檢(jiǎn)、調整測試、使用(yòng)單晶(jīng)爐完成後(hòu)安全斷(duàn)電，這些(xiē)步驟都不可以(yǐ)省略。
    在感(gǎn)應熔(róng)煉之前應當檢(jiǎn)查好設備(bèi)，看看(kàn)有沒(méi)有明顯損(sǔn)壞的零部(bù)件，然後根據說明書(shū)的要求來(lái)操作試用，如果經過(guò)試用工作正常(cháng)，就可以(yǐ)開始正(zhèng)式生産了，但是(shì)生産的過程中(zhōng)也要(yào)不斷地檢(jiǎn)查下(xià)産品，看産(chǎn)品的某些(xiē)指标是否達(dá)标(biāo)，産品(pǐn)質量(liàng)是否合格，如果指标(biāo)不達(dá)标、質量不合格(gé)就要(yào)調(diào)整下機(jī)器，直到熔煉的産品的品質達(dá)到要求爲(wèi)止。

    常見(jiàn)的單(dān)晶爐(lú)故障(zhàng)有晶棒晃動，單(dān)晶爐(lú)晶棒(bàng)晃動(dòng)機器(qì)仍然可以(yǐ)正(zhèng)常運轉，但是(shì)生産效(xiào)率低，感(gǎn)應熔煉的(de)産品質量(liàng)差(chà)所以爲(wèi)了提(tí)高感應熔煉的(de)效率(lǜ)和質(zhì)量，不能(néng)盲(máng)目(mù)的(de)熔煉，一定要對(duì)單晶爐進(jìn)行檢查。晶(jīng)棒晃動要(yào)檢查一下提拉(lā)頭、冷卻系統和(hé)真空系統。如果(guǒ)是提拉頭出現問題，就要維修調整(zhěng)下減(jiǎn)速機(jī)構或旋轉機構(gòu)。如果是冷卻系(xì)統和(hé)真空系統(tǒng)出現問題，需要(yào)調(diào)整(zhěng)一下矽料(liào)和重錘結(jié)構。如(rú)果檢查(chá)這(zhè)些地方沒(méi)有(yǒu)問(wèn)題，看(kàn)一下氩氣(qì)等惰(duò)性氣體是(shì)否在(zài)爐内流動，氩氣在爐(lú)内流動的(de)話，就需(xū)要改裝(zhuāng)一下(xià)單(dān)晶爐了(le)，保證(zhèng)單(dān)晶爐熱場分布均勻。
編(biān)輯：wq