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單晶爐長晶(jīng)原理是什麽[2014/4/10]在(zài) 單晶(jīng)爐 中(zhōng)可以進行(háng)一些(xiē)操作(zuò),如果把高(gāo)純度(dù)的多晶矽(xī)原料(liào)放在(zài)高純(chún)度的(de)石英坩埚(guō)中(zhōng),通過加(jiā)熱器的作用,就會産生高溫,這(zhè)樣(yàng)就會把(bǎ)它熔化(huà)。如(rú)果對(duì)熔化的(de)矽液(yè)進(jìn)行降溫處理,就(jiù)會産生(shēng)一(yī)定程(chéng)度的(de)過(guò)冷度,然後再使(shǐ)用一個(gè)矽單晶體(tǐ)插在熔體(tǐ)的表(biǎo)面,需要使用固(gù)定在籽晶(jīng)軸上的矽(xī)單晶體。可以等(děng)這籽(zǐ)晶可以和(hé)熔體相融(róng)合之後,然後(hòu)慢慢的(de)往上拉動籽晶。然後晶(jīng)體就會(huì)在慢(màn)慢的生長(zhǎng),可以(yǐ)生長(zhǎng)成爲(wèi)直徑3至5毫(háo)米的(de)細頸(jǐng)。
這(zhè)個細頸可以消(xiāo)除高溫(wēn)溶液(yè)産生的強(qiáng)烈的沖擊作用(yòng),這樣就(jiù)會形成一個錯位,這個過程(chéng)就是引晶(jīng)。然後可以把晶(jīng)體的直徑放大(dà),将其放大到工(gōng)藝所(suǒ)要求的大小就可以,一般(bān)來說,這個長(zhǎng)度(dù)是75至(zhì)300毫米,專業術語則可以把它稱(chēng)爲(wèi)放肩。如(rú)果突(tū)然将(jiāng)拉速(sù)提高的話(huà),使肩部形成一個直(zhí)角。然(rán)後單晶爐(lú)就會進入等徑(jìng)工藝,通過(guò)對熱(rè)場溫度和晶體(tǐ)來提升(shēng)下(xià)速度,這樣就(jiù)會生成(chéng)一定(dìng)大小的單晶柱體(tǐ)。
如果很(hěn)多矽溶液已經(jīng)完成了結晶,就(jiù)可以把晶體慢慢的(de)縮小,直到(dào)縮小(xiǎo)爲一(yī)個尾(wěi)形的椎體(tǐ)就可以了,一般這個(gè)尾形椎(zhuī)體(tǐ)也被(bèi)稱爲收尾(wěi)工藝(yì)。這樣(yàng)就(jiù)可以把(bǎ)單晶的拉(lā)制過(guò)程完成操作,然(rán)後再(zài)經(jīng)過一定(dìng)的保(bǎo)溫冷卻就(jiù)可以将其取出(chū)來了(le)。
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