真空爐系統(tǒng)中的油擴(kuò)散泵(bèng)是靠(kào)高速(sù)蒸汽(qì)射流來攜帶氣體以達(dá)到抽氣(qì)的目的，它工作(zuò)在高真空區域(yù)，其工作(zuò)壓(yā)強範(fàn)圍爲10-2～10-6pa。油蒸汽從(cóng)傘形噴咀(如i級噴咀)以超音速噴出後，其速度(dù)逐漸增(zēng)大(dà)，壓力(lì)及密度(dù)逐漸降(jiàng)低。

    1．概述 油擴散(sàn)泵的工作原理(lǐ)與水(shuǐ)蒸汽噴射(shè)泵相(xiàng)似，都是靠(kào)高速蒸汽(qì)射流(liú)來攜帶氣體以(yǐ)達到抽氣的目(mù)的，故有如(rú)水蒸(zhēng)汽噴射泵相似(sì)的特點。不同點(diǎn)是擴散泵工作(zuò)在高真(zhēn)空(kōng)區域(yù)，其工作壓強範圍爲10-2～10-6pa。廣泛(fàn)用于電子(zǐ)、化工、冶金(jīn)、機械、石(shí)油及原(yuán)子能等工業部(bù)門中。

    2．油擴散泵的工作原理與(yǔ)結構

    當(dāng)油(yóu)蒸汽(qì)從(cóng)傘形噴(pēn)咀(如(rú)i級噴咀)以超音(yīn)速噴出後，其速(sù)度逐(zhú)漸增大，壓(yā)力及(jí)密(mì)度逐漸降(jiàng)低，射流(liú)上邊(biān)的被(bèi)抽(chōu)氣體a因(yīn)密度(dù)差要(yào)向蒸汽射流中(zhōng)擴散(sàn)并被射流攜帶到水(shuǐ)冷的泵壁(bì)處b，在b處，工作(zuò)蒸汽大部分(fèn)被冷(lěng)凝成油滴(dī)沿泵(bèng)壁流回到油鍋(guō)中循(xún)環使用，而(ér)被抽(chōu)氣(qì)體(tǐ)在b處(chù)堆積、壓縮(suō)，最後(hòu)被下級射流攜(xié)帶走(zǒu)，以(yǐ)達到逐(zhú)級(jí)壓縮(suō)，最後被(bèi)前級泵抽走。