單晶(jīng)爐定義：

    單晶(jīng)爐是一種(zhǒng)在(zài)惰(duò)性氣體（氮氣、氦(hài)氣爲(wèi)主）環(huán)境中(zhōng),用石墨加(jiā)熱器将多晶矽(xī)等多(duō)晶材(cái)料熔(róng)化(huà),用直(zhí)拉法生(shēng)長無錯位單(dān)晶的設(shè)備。

    單晶爐(lú)的型号與命名：

    單晶爐 型号有兩種命名方式(shì)，一種(zhǒng)爲投料量(liàng)，一種爲(wèi)爐(lú)室直徑。比如(rú)85爐，是指(zhǐ)主爐筒的(de)直徑大小(xiǎo)，120、150等型号是(shì)由裝料量(liàng)來決(jué)定的

    技術要求(qiú)：

    1.單晶爐(lú)裝(zhuāng)料量(liàng)（單台機産能多少） 2. 能拉多長、幾(jǐ)寸的矽棒(bàng) 3. 拉制(zhì)晶棒(bàng)的(de)成品率是多少4拉出矽(xī)棒品質(zhì)（少子壽命、電阻率、碳氧(yǎng)含量、位錯密度(dù)） 5設備制造工藝(yì)控制保證(zhèng) 6自動化控制(zhì)程度 7設(shè)備(bèi)主要關鍵部(bù)件的配(pèi)置等(děng) 。

    1、穩定的機架(jià)結構設計，增強了設(shè)備在晶體(tǐ)生長(zhǎng)過程中的抗振(zhèn)動能(néng)力。

    2、優(yōu)化的液壓提升(shēng)機構(gòu)确保副爐(lú)室提(tí)升和複位(wèi)時的(de)運動平穩性。 

    3、與(yǔ)主機(jī)分離的分(fèn)水器設計(jì)，在減(jiǎn)少冷卻水振動(dòng)對晶體生長的(de)影響(xiǎng)的(de)同時優(yōu)化了水路(lù)布局。 

    4、晶體(tǐ)和坩埚的(de)提升采(cǎi)用(yòng)雙電(diàn)機結(jié)構，保(bǎo)證穩(wěn)定的低生(shēng)長速度以及(jí)坩埚和(hé)籽晶的快速定(dìng)位。 

    5、采用無振動(dòng)的高性能馬達(dá)和低噪聲(shēng)的減(jiǎn)速器驅(qū)動晶體(tǐ)和坩(gān)埚上升，可(kě)提供穩(wěn)定(dìng)的低(dī)生長(zhǎng)速度。

    6、設備(bèi)的真空(kōng)條件和在真空下的(de)可控惰(duò)性氣(qì)體氣(qì)流使得熱(rè)區清洗最佳化。氧化矽可(kě)以在不污(wū)染晶體(tǐ)和(hé)晶體(tǐ)驅動(dòng)裝(zhuāng)置(zhì)的條件下排(pái)除(chú)。  

    7、帶隔(gé)離閥(fá)的副室可(kě)以在熱區(qū)保持工作(zuò)溫度的(de)情(qíng)況下，取出長成(chéng)的晶(jīng)體(tǐ)或者更(gèng)換籽晶。 

    8、對(duì)惰性氣體(tǐ)流量和爐(lú)室壓力高精度(dù)的控制能(néng)力，爲(wèi)生長高(gāo)品(pǐn)質單晶創造了條件(jiàn)。 

    9、爐蓋和爐(lú)腔通(tōng)過兩(liǎng)個提升裝置提升，很方便的轉向一邊快(kuài)捷地(dì)清(qīng)洗。

    10、熔化溫度(dù)通過(guò)對加(jiā)熱器溫度的(de)電(diàn)控來維持和調節，加熱電源采用直(zhí)流供電提(tí)高了控制(zhì)精度。高品質(zhì)的加熱(rè)器溫度測量傳(chuán)感器(qì)實(shí)現了精(jīng)确的溫度(dù)控制(zhì)。

    12、整個晶體生長(zhǎng)過程由一(yī)個(gè)高可靠的可(kě)編程計算機控制器（pcc）控制(zhì)，包括(kuò)抽真(zhēn)空、熔化、引晶縮(suō)頸、放(fàng)肩、等經生(shēng)長和尾(wěi)錐生長(zhǎng)，晶體生(shēng)長全過(guò)程可實現(xiàn)全自動（ccd）控制：。

    13、帶有數(shù)據和報警(jǐng)過程控制(zhì)的可(kě)視化(huà)軟件，存(cún)儲在計(jì)算機的(de)硬盤中(zhōng)。

    單晶爐 在(zài)使用(yòng)時，爐(lú)體(tǐ)處于高(gāo)溫工作狀(zhuàng)态，并要求各(gè)運動部(bù)件的運動穩定(dìng)可(kě)靠，精度高（尤(yóu)其是坩埚(guō)驅動裝置和(hé)籽晶旋(xuán)轉及提升機構），工作時間長。因(yīn)此，在使(shǐ)用過程(chéng)中，要注意設備(bèi)的維護與(yǔ)保養。 

    坩埚驅動裝置(zhì) 

    坩埚驅動裝置(zhì)要求的運動精(jīng)度比較高，是設備的核心運動部件(jiàn)，應重點維(wéi)護。坩埚軸(zhóu)是石(shí)墨坩埚(guō)的(de)支撐(chēng)軸，應随時檢查其冷卻(què)水的情況，以免(miǎn)燒損。坩埚驅(qū)動采(cǎi)用滾(gǔn)珠絲杠和直線(xiàn)導軌結構，是坩埚驅動的(de)關鍵(jiàn)部件，需(xū)保(bǎo)持清潔，嚴(yán)禁灰塵、雜(zá)物附着，并(bìng)定期(qī)塗抹潤滑脂(zhī)。

    籽(zǐ)晶旋(xuán)轉及(jí)提升(shēng)機構的維修 

    籽(zǐ)晶旋(xuán)轉及(jí)提升(shēng)機構(gòu)也是單晶(jīng)爐的(de)關(guān)鍵部(bù)件(jiàn)，該部件運行的(de)好壞直接影響(xiǎng)單晶的生長。因(yīn)此，也須重(zhòng)點維(wéi)護。  卷輪(lún)箱是(shì)籽(zǐ)晶提升的核心(xīn)，卷輪箱(xiāng)内的零(líng)件一般(bān)情(qíng)況下(xià)不(bú)得(dé)随意拆除(chú)，必須拆除時(shí)，重(zhòng)新安(ān)裝時必須保證軟(ruǎn)軸對中(zhōng)。軟軸(zhóu)鋼(gāng)絲繩在使用(yòng)中不準有(yǒu)死彎(wān)現象，并在(zài)每次開爐(lú)時檢(jiǎn)查鋼絲繩是否(fǒu)燒損(sǔn)，如(rú)有(yǒu)燒損應及時修(xiū)整或(huò)更換新的(de)鋼絲(sī)繩。

    其餘部(bù)件的維修(xiū)

    每次(cì)開單(dān)晶爐 前應檢查(chá)水路系(xì)統(tǒng)是否(fǒu)暢通(tōng)，水溫檢(jiǎn)測(cè)傳感(gǎn)器安(ān)裝是(shì)否正常(cháng)。發(fā)現有(yǒu)結垢(gòu)時(shí)應及清(qīng)理。在拉(lā)晶(jīng)過程(chéng)中，若發現水壓報警或漏水時(shí)要及(jí)時(shí)采取措(cuò)施。  真空管道的(de)過濾網每(měi)爐要(yào)清理一次(cì)，抽(chōu)氣(qì)管道每20～30爐清理一次。